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PI P-616.3C納米定位器-北京漢達森
產品描述:
并聯運動設計可在所有空間方向上實現gao剛性
即使負載高達100克,高諧振頻率也能實現高動態運動
單個安裝平臺的型產品設計可實現靈活使用
市場上的帶ID芯片功能的納米定位器
市場上行程為100 微米的小、輕的NanoCube
· 光纖定位和對準
· 掃描顯微鏡
· 雙光子聚合
· 納米技術和納米制造
· 光子學/集成光學
· 顯微操縱
· 樣本定位
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量,且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時,數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。
壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。
的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮,避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現*運行1000億個循環。
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損,無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力,且它們對chong擊和振動不敏感。它們*真空兼容,可在很廣的溫度范圍內工作。
在并聯多軸系統中,所有促動器作用于同一個運動平臺。所有軸具有小的質量慣性和相同的設計,可實現快速、動態和精密的運動。
運動和定位
主動軸 X、Y、Z
-20至120伏時的開環行程 110/軸 微米 +20 % / -0 %
行程,閉環 100/軸 微米 +20 % / -0 %
分辨率,1Ò,開環 0.3 納米 典型值
分辨率,1Ò,閉環 0.4 納米 典型值
線性誤差 0.03 % 典型值
雙向重復精度,1Ò,10%行程范圍內
傳感器 傳感器類型 電容式傳感器
機械特性 剛度 0.5 牛/微米 ±10 %
X / Y / Z向上的空載諧振頻率 700 赫茲 ±10 %
帶38克負載的諧振頻率 X / Y / Z 380 赫茲 ±20 %
帶100克負載的諧振頻率 X / Y / Z 250 赫茲 ±20 %
推/拉力大小 15 牛 大
大允許轉矩 0.4 牛米 大
推薦大負載 300 克 大
驅動特性
陶瓷類型 PICMAP-885.50
電容 1.5/軸 微法 ±20 %
其他 工作溫度范圍 -20 到 80 °C
材料 鋁、鋼
尺寸 40 × 40 × 40 毫米
移動質量(無負載) 0.021 千克
不含電纜的質量 0.125 千克
包含電纜在內的質量 0.4 千克
電纜長度 1.5 米 ±10 毫米
連接 Sub-D25W3(公頭)
推薦電控 E-503、E-663、E-712、E-727
PI P-616.3C納米定位器-北京漢達森