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Physik Instrumente緊湊型XY納米定位系統
P-763 緊湊型XY納米定位系統
· 行程200微米
· 帶電容式傳感器,具有高定位穩定性和分辨率
· 落地面積小,邊長為70毫米
· 大通光孔徑30毫米 × 30毫米
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雙軸,串聯運動。帶機械杠桿運動放大器的無摩擦柔性鉸鏈接頭。電容式位置傳感器實現大穩定性和線性度
帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、防潮性能佳、工作溫度達80攝氏度
科研和工業中的樣本操作和定位,也適用于透射光應用
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P-763.22C XY Nanopositioning System with Small Footprint and Large Aperture, 200 µm × 200 µm, Direct Metrology, Capacitive Sensors
Physik Instrumente緊湊型XY納米定位系統